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アプリケーション例

ガントリーステージ

ガントリーステージ
- ダイレクトドライブガントリー
- フレキシブルジョイント
- アクティブヨー制御
- 高精密

ワイヤボンディング XYZ ステージ

ワイヤボンディング XYZ ステージ
- 高帯域
- 高加速
- 高速セトリング

リニアダイボンディング

Y方向およびZ方向の長距離移動向け高精密デカップリング YZ ステージ
- Y軸方向最大移動長 200mm
- Z軸方向最大移動長 50mm
- 低移動質量 (Z軸ステータは移動しません)
- Y軸方向およびZ軸方向への高加速移動

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