精密ステージ

AMS/AMRミニチュアステージ

AMRシリーズ(ロータリモータによる駆動)

・超小型サイズの設計(厚さわずか22mm、直径は65mm)

・優れた繰返し精度(±2 arcsec)

・低コギング

AMSシリーズ(リニアモータによる駆動)

・超小型サイズの設計(厚さわずか22mm、直径は65mm)

・優れた繰返し精度(±0.5 um)

・低コギング

GTDステージ

・ダイレクトドライブリニアモータ位置決めシステム

・正確な動きとホーミング

・剛性が高い

・Tドライブ設計

GHDステージ

・ダイレクトドライブリニアモータ位置決めシステム

・正確な動きとホーミング

・剛性が高い

・Hドライブ設計

・デュアルフィードバック付きHドライブ/シングルフィードバック付きHドライブ

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