Voice Coil Modules

XRVシリーズ

XRVシリーズ(クロスローラガイドボイスコイルステージ)は 長方形のボイスコイルモータシステムで動き、高精度でレスポンスの早いステージです。わずかな動きでスムーズさが求められるアプリケーションに適しています。

XRVシリーズ


XRV

仕様 単位 XRV76 XRV97 XRV115
ストローク1 mm 20 20 20
モータ - AVA1-20 AVA2-20 AVA3-20
定格推力 N 2.74 10.08 17.92
最大推力 N 8.2 30.2 53.8
分解能 μm ABI21: 0.5/0.2
AT2: 0.2/0.05
双方向繰り返し精度 μm ABI21: 0.5/0.2:±1
AT2: 0.2/0.05:±0.5
真直度 μm ±2.5 ±2.5 ±2.5
平面度 μm ±2.5 ±2.5 ±2.5
定格ペイロード2 kg 0.1 0.7 1.4
無負荷時移動質量 kg 0.17 0.27 0.43
総重量 kg 0.48 1.16 2.21
最大許容ペイロード kg 1 2.4 5.2
最大許容ロールモーメント荷重 Nm 0.4 0.6 0.8
最大許容ピッチモーメント荷重 Nm 0.5 0.5 0.5
最大許容ヨーモーメント荷重 Nm 0.4 0.4 0.4

1.Stroke refers to hardstop-to-hardstop mechanical stroke. The limit sensor are positioned 0.5mm from the hardstops.

2.The rated load is based on the load in which the acceleration of the mass is at least 1G.


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