Voice Coil Modules

VRG-IIIシリーズ

VRG-IIIは、ブリッジ部の重心に合わせて推力を生成する多用途のガントリーステージです。 コア付きのAJM、AKMモーターを使用して、重量物を高精度に位置決めをすることが可能です。

VRG-IIIシリーズ


VRG-III

仕様 単位 L U
ストローク mm 600 600
定格ペイロード Kg 50
無負荷時移動質量 Kg 80 10
最大加速度 m/s2 20 20
最高速度 m/s 2 2
モータモデル - 2 * AKM100-B4 AJM100-B4
定格推力 N 2 * 722 446
最大推力 N 2 * 1610 1409
エンコーダ分解能 μm 0.05/0.5/SINCOS 0.05/0.5/SINCOS
最小ステップサイズ μm 0.5 0.5
双方向繰り返し精度 μm ±2 ±1.5
精度 μm ±10.0 ±10.0
真直度 μm ±10.0 ±10.0
平面度 μm ±10.0 ±10.0
ヨー arc sec ±10.0 ±10.0
ピッチ arc sec ±10.0 ±10.0
直交性 arc sec 10
総重量 Kg 635

1.The table above presents the highest capability of this stage layout.

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