TGVシリーズ

TGVシリーズ (クロスローラのスルーホールボイスコイルステージ)は、筒状のボイスコイルモータシステムで動き、シリーズ中最大の推力を実現したステージです。重い負荷を高速に動作させるアプリケーションに適しています。

TGVシリーズ


TGV

仕様 単位 TGV50 TGV75 TGV90 TGV130
ストローク1 mm 10 25 30 10
モータ - AVM50-HF-10-C15 AVM75-HF-25-C12 AVM90-30-C77 AVM130-HF-10-C29
定格推力 N 25.2 124.69 57.3 162.4
最大推力 N 105 572.9 202.6 487.2
分解能 μm ABI21: 0.5/0.2
AT2: 0.2/0.05
双方向繰り返し精度 μm ABI21: 0.5/0.2:±1
AT2: 0.2/0.05:±0.5
真直度 μm ±2.5 ±2.5 ±2.5 ±2.5
平面度 μm ±2.5 ±2.5 ±2.5 ±2.5
定格ペイロード2 kg 3 8 6 15
無負荷時移動質量 kg 0.26 1.11 1.41 2.35
総重量 kg 1.21 3.85 3.76 10.1
最大許容ペイロード kg 7.5 11.2 14.7 25
最大許容ロールモーメント荷重 Nm 6.8 14.4 28.3 91.1
最大許容ピッチモーメント荷重 Nm 8 15 21.1 70.9
最大許容ヨーモーメント荷重 Nm 9.8 18.2 25.7 86.1

1.Stroke refers to hardstop-to-hardstop mechanical stroke. The limit sensor are positioned 0.5mm from the hardstops.

2.The rated load is based on the load in which the acceleration of the mass is at least 1G.



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