TDS-XYシリーズ
TDS-XYは下軸に3つのレールガイドによりを使用し、上軸を支えます。これにより高いパフォーマンスを発揮します。ビルトイン型の特注フラットケーブルを使用することでコンパクトサイズを実現。 半導体業界に最適です。
TDS-XY
| 仕様 | 単位 | L | U |
|---|---|---|---|
| ストローク | mm | 500 | 500 |
| 定格ペイロード | Kg | 20 | |
| 無負荷時移動質量 | Kg | 40 | 7 |
| 最大加速度 | m/s2 | 10 | 10 |
| 最高速度 | m/s | 1 | 1 |
| モータモデル | - | AUM5-S3 | AUM4-S3 |
| 定格推力 | N | 295 | 166 |
| 最大推力 | N | 2122 | 936 |
| エンコーダ分解能 | μm | 0.05/0.5/SINCOS | 0.05/0.5/SINCOS |
| 最小ステップサイズ | μm | 0.5 | 0.5 |
| 双方向繰り返し精度 | μm | ±1.0 | ±1.0 |
| 位置決め精度 | μm | ±10.0 | ±10.0 |
| 真直度 | μm | ±10.0 | ±10.0 |
| 平面度 | μm | ±10.0 | ±10.0 |
| ヨー | arc sec | ±10.0 | ±10.0 |
| ピッチ | arc sec | ±10.0 | ±10.0 |
| 直交性 | arc sec | 10 | |
| 総重量 | Kg | 350 | |
1.The table above presents the highest capability of this stage layout.
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