Voice Coil Modules

TDS-XYシリーズ

TDS-XYは下軸に3つのレールガイドによりを使用し、上軸を支えます。これにより高いパフォーマンスを発揮します。ビルトイン型の特注フラットケーブルを使用することでコンパクトサイズを実現。 半導体業界に最適です。

TDS-XYシリーズ


TDS-XY

仕様 単位 L U
ストローク mm 500 500
定格ペイロード Kg 20
無負荷時移動質量 Kg 40 7
最大加速度 m/s2 10 10
最高速度 m/s 1 1
モータモデル - AUM5-S3 AUM4-S3
定格推力 N 295 166
最大推力 N 2122 936
エンコーダ分解能 μm 0.05/0.5/SINCOS 0.05/0.5/SINCOS
最小ステップサイズ μm 0.5 0.5
双方向繰り返し精度 μm ±1.0 ±1.0
位置決め精度 μm ±10.0 ±10.0
真直度 μm ±10.0 ±10.0
平面度 μm ±10.0 ±10.0
ヨー arc sec ±10.0 ±10.0
ピッチ arc sec ±10.0 ±10.0
直交性 arc sec 10
総重量 Kg 350

1.The table above presents the highest capability of this stage layout.

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