Linear Motors

GTDステージ

GTDステージはリニアモータシステムによって駆動されます。短いブリッジに適しています。

GTDステージ


仕様 モデル GTD
ドライブタイプ 1 T-Drive
上部 下部
モータ AUM3-S2 AUM4-S2
性能特性 単位 直列 並列 直列
定格推力, コイル@100℃ N 57 110
最大推力 N 289 624
モータ定数 N/Sqrt(W) 10.2 15.8
定格電力 W 30.5 48.7
最大電力 W 796.0 1555
電磁気サイクル mm 60 60.0
最大バス電圧 V 330 330.0
最大コイル温度 125 125.0
熱放散定数 W/℃ 0.41 0.65
定格電流 Arms 1.8 3.6 2.3
最大電流 Arms 9.2 18.4 13.0
推力定数 N/Amrs 31.4 15.7 48.0
逆起動電圧定数 Vpeak/(m/s) 25.6 12.8 39.2
インダクタンス mH 6.26 1.57 7.00
抵抗 @25℃ Ohms 9.40 2.35 9.20
電気的時定数 ms 0.67 0.67 0.76
メカ特性  
コイル質量 Kg 0.45 0.56
コイル長 mm 121 121.0



有効ストローク

モデル ドライブタイプ 有効ストローク (mm) センサー位置 (mm) ハードストッパー位置 (mm)
GTD Tドライブ 上部 200 202 210
下部 400 402 408



性能パラメータ

精度仕様 単位 GTD 400*200
真直度 μm ±3μm/25mm, NTE±10μm for FS
平面度 μm ±3μm/25mm, NTE±10μm for FS
繰返し精度 (1μm 解像度) μm ±3μm (40μm scale pitch)
繰返し精度 (0.5μm 解像度) μm ±1.5μm (20μm scale pitch)
繰返し精度 (0.1μm 解像度) μm ±1μm (20μm scale pitch)
繰返し精度 (アナログ) μm ±5 counts
X-Y 直交性 Arc-sec 10


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