Linear Motors

GHDステージ

GHDステージはリニアモータシステムによって駆動されます。優れた位置決め精度と優れた機械的剛性を備えています。

GHDステージ


仕様 モデル GHD510
ドライブタイプ1 T または H
上部 下部
モータ ACM1-L50 ACM3-S1
性能特性 単位
定格推力, コイル@100℃ N 160 293
最大推力 N 692.4 878
モータ定数 N/SqRt(W) 22.6 29.4
定格電力 W 50.3 99.1
最大電力 W 936.2 891.6
電磁気サイクル mm 20 42
最大コイル温度 130 130
定格電流 Arms 4.2 4.8
最大電流 Arms 19.2 14.4
推力定数 N/Amrs 38.2 61.0
逆起動電圧定数 Vpeak/(m/s) 31.2 49.8
インダクタンス mH 10.4 38.0
抵抗@25℃ Ohms 2.85 4.30
磁気吸引力 N 1619 1.45



有効ストローク

モデル ドライブタイプ 有効ストローク (mm) 移動質量 (Kg) 総質量 (Kg) センサー位置 (mm)
GHD TまたはH 上部軸 510 4.6 29 514
下部軸 510 34.8 103 514



性能パラメータ

精度仕様 単位
真直度 μm ±2.5μm/100mm,NTE±10μm for FS
平面度 μm ±2.5μm/1005mm, NTE±10μm for FS
繰返し精度 (0.1μm解像度) μm ±1
繰返し精度(0.5μm解像度) μm ±2.5
繰返し精度(1μm解像度) μm ±5
繰返し精度(アナログ) μm ±5
X-Y 直交性 Arc-sec 10




仕様 モデル GHD620
ドライブタイプ1 T または H
上部 下部
モータ ACM1-L50 ACM1-L50
性能特性 単位
定格推力 コイル@100℃ N 182 182
最大推力 N 831.4 831.4
モータ定数 N/SqRt(W) 25.6 25.6
定格電力 W 50.3 50.3
最大電力 W 1050.6 1050.6
電磁気サイクル mm 20 20
最大コイル温度 130 130
定格電流 Arms 4.2 4.2
最大電流 Arms 19.2 19.2
推力定数 N/Amrs 43.3 43.3
逆起動電圧定数 Vpeak/(m/s) 35.4 35.4
インダクタンス mH 10.4 10.4
抵抗@25℃ Ohms 2.85 2.85
磁気吸引力 N 1619 1619



有効ストローク

モデル ドライブタイプ 有効ストローク (mm) 移動質量 (Kg) 総質量 (Kg) センサー位置 (mm) ハードストッパー位置 (mm)
GHD TまたはH 上軸 620 4.85 32 624 630
下軸 620 38.3 122 624 630



性能パラメータ

精度仕様 単位
真直度 μm ±3μm/25mm,NTE±10μm for FS
平面度 μm ±3μm/25mm, NTE±10μm for FS
繰返し精度(0.5μm解像度) μm ±4
繰返し精度(1μm解像度) μm ±5
繰返し精度 (アナログ) μm ±5
X-Y 直交性 Arc-sec 10


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