DGVシリーズ

DGVシリーズ(デュアルガイドボイスコイルステージ)は、長方形のボイスコイルモータシステムによって動き、レスポンスが早くバンド幅が広いステージです。 短いストロークで高速に動くアプリケーションに適しています。

DGVシリーズ


DGV

仕様 単位 DGV16 DGV26 DGV32
ストローク1 mm 10 20 20
モータ - AVA1-C1-10 AVA2-20 AVA3-20
定格推力 N 4 10.08 17.92
最大推力 N 12 30.2 53.8
分解能 μm ABI21: 0.5/0.2
AT2: 0.2/0.05
双方向繰り返し精度 μm ABI21: 0.5/0.2:±1
AT2: 0.2/0.05:±0.5
真直度 μm ±3.0 ±3.0 ±3.0
平面度 μm ±3.0 ±3.0 ±3.0
定格ペイロード2 kg 0.17 0.4 0.74
無負荷時移動質量 kg 0.028 0.11 0.16
総重量 kg 0.22 0.75 1.1
最大許容ペイロード kg 0.4 0.5 1.1
最大許容ロールモーメント荷重 Nm 1.3 1.4 5.5
最大許容ピッチモーメント荷重 Nm 0.3 0.6 1.6
最大許容ヨーモーメント荷重 Nm 1.3 1.4 5.5

1.Stroke refers to hardstop-to-hardstop mechanical stroke. Effective stroke equals to mechanical stroke for this short-stroke stage.

2.The rated load is based on the load in which the acceleration of the mass is at least 1G.



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