DGLクリーンルームカバー付き

DGL XYステージには、クリーンルームカバー付きのものがあります。剛性が高く、位置決めの精度が高いのが特長です。

DGLクリーンルームカバー付き


モータ形状

モデル モータ 有効ストローク 移動質量 総質量 センサー位置 ハード
ストッパー位置
(mm) (Kg) (Kg) (mm) (mm)
DGL200 上部 AUM4-S2 300 3.1 29 304 320
DGL200 上部 AUM4-S3 300 3.4 29 304 320
DGL200 下部 AUM4-S3 300 24.9 103 304 320
DGL200 下部 AUM4-S4 300 26.1 103 304 320
* 花崗岩の質量は約240Kgです。


精度仕様

仕様 単位 DGCR 300 DGCRS 300
真直度 μm ±3μm/25mm, NTE±10μm/510mm ±3μm/25mm,NTE±10μm/610mm
平面度 μm ±3μm/25mm, NTE±10μm/300mm ±3μm/25mm, NTE±10μm/300mm
繰返し精度 (1μm 解像度) μm ±3  (40μm scale pitch) ±3  (40μm scale pitch)
繰返し精度 (0.5μm 解像度) μm ±1.5  (20μm scale pitch) ±1.5  (20μm scale pitch)
繰返し精度 (0.1μm 解像度) μm ±1  (20μm scale pitch) ±1  (20μm scale pitch)
繰返し精度 (アナログ) μm ±5 counts ±5 counts
X-Y直交性 Arc-sec 10 10
* すべての測定は平面度5㎛の花崗岩テーブルにモジュールを取り付けて実施

詳細およびカタログに記載のないモデルをお探しの際はこちらからお問い合わせください。
ページの先頭に戻る
Copyright © 2019 Akribis Systems Japan Co., Ltd. | All Rights Reserved