DGLカンチレバー構造

DGL XYステージには、片持ち固定(カンチレバー構造)のものがあります。剛性が高く、位置決めの精度が高いのが特長です。

DGLカンチレバー構造


モジュール構成

モデル モータ 有効ストローク 総移動質量 総質量 センサー位置 ハード
ストッパー位置
(mm) (Kg) (Kg) (mm) (mm)
DGL180 上部 AUM3-S2 200-300 表2参照 表3参照 ストローク+4 ストローク+20
AUM3-S3
AUM3-S4
DGL200 下部 AUM4-S2 200-600 A B ストローク+4 ストローク+20
AUM4-S3
AUM4-S4
A = 表2(下部軸) + 表3 + 6.12 (接合部質量, 単位Kg)
B = A + 表4



表2:軸移動質量

キャリッジサイズ S2 S3 S4
上部軸 2 2.5 2.7
下部軸 2.4 3.1 3.4


表3:上部軸の総質量

有効ストローク/上部軸質量 (g) 200 300
モータコイルサイズ S2 17.04 20.44
モータコイルサイズ S3 18.26 22.94
モータコイルサイズ S4 20.74 23.24


表4:下部軸の総質量

有効ストローク/下部軸質量 (g) 200 300 400 500 600
モータコイルサイズ S2 16.4 19.8 22.3 25.7 29.1
モータコイルサイズ S3 18.9 22.3 24.9 28.3 31.7
モータコイルサイズ S4 20.1 22.6 26.1 29.5 32


精度仕様

精度仕様 単位 DGL180 DGL200
真直度 μm ±3μm/25mm, NTE±10μm/300mm ±3μm/25mm, NTE±10μm/300mm
平面度 μm ±3μm/25mm, NTE±10μm/300mm ±3μm/25mm, NTE±10μm/300mm
繰返し精度 (1μm 解像度) μm ±3 (40μm scale pitch) ±3  (40μm scale pitch)
繰返し精度 (0.5μm 解像度) μm ±1.5  (20μm scale pitch) ±1.5  (20μm scale pitch)
繰返し精度 (0.1μm 解像度) μm ±1  (20μm scale pitch) ±1  (20μm scale pitch)
繰返し精度 (アナログ) μm ±5 counts ±5 counts
X-Y直交性 Arc-sec 10 10
* すべての測定は平面度5㎛の花崗岩テーブルにモジュールを取り付けて実施

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