Voice Coil Modules

DGL-XYシリーズ

DGL-XYステージは標準品であるのDGLステージで構成されているため、開発と量産へのリードタイムが短縮されます。 高速かつ高精度で、オートメーションおよび半導体産業に適合します。

DGL-XYシリーズ


DGL-XY

基本モデル 単位 DGL-XY-S-L100-U100 DGL-XY-S-L200-U200 DGL-XY-S-L300-U300 DGL-XY-S-L400-U300
ストローク mm 100 * 100 200 * 200 300 * 300 400 * 300
最高速度 m/s 2 2 2 2
最大加速度 m/s2 3 3 3 3
モータ 下軸 - AUM3-S4 AUM3-S4 AUM3-S4 AUM3-S4
上軸 - AUM3-S2 AUM3-S2 AUM3-S2 AUM3-S2
定格推力/最大推力 下軸 N 113/578 113/578 113/578 113/578
上軸 N 57/289 57/289 57/289 57/289
繰返し精度 μm ±1 ±1 ±1 ±1
直交性 arc sec 10 10 10 10
システム公称重量 Kg 29 34 39 42
無負荷時移動質量 下軸 Kg 19 21 24 24
上軸 Kg 2.9 2.9 2.9 2.9
材質 - Aluminum Aluminum Aluminum Aluminum

1.Values of velocity, acceleration and no-load moving mass are approximations only and may vary based on customer applications and requirements.



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